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      產品信息

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      TAC-100 全自動硅片插片機




      一、主要參數

      1. 外形尺寸    2800L×2200W×2100H(mm)

      2. 花籃規格    100片

      3. 硅片尺寸    156mm

      4. 硅片厚度    150~200um   

      5. 適用硅片    砂漿線(單晶硅、多晶硅)、金剛線(單晶硅、多晶硅)。

      6. 發片效率    7000片/小時(未包含換盒及上料時間)

      7. 碎片率      ≤0.2% (除硅片自身原因)

      8. 控制系統    PLC可編程控制器,交流伺服系統

      9.照像系統     檢測碎片和疊片并自動分選

      10.氣壓        0.5~0.55Mpa 干燥氣體

      11.氣源流量    進氣管口徑≥10mm

      12.電源        AC220V(單相三線)、50HZ

      13.設備功率    3.0KW

      二.特點介紹

      1. 硅片帶離原理:

      我們摒棄常規直接吸取硅片方式而是通過吸水(硅片和輸送帶始終有一定的間距),使得分離后的硅片會順著水流方向靠向輸送帶無接觸式帶離,對硅片無任何損傷。同時該技術已為超?。ǎ?/font>140mm)的硅片使用全自動插片機奠定了基礎;

      分片機構可對任何狀態的硅片進行均勻分離;

      以上二項技術南亞自行研發,并已申請二項發明專利。

      2.硅片的帶片速度取決于輸送帶的轉速,非開關模式的運行模式連續又平穩;轉速根據工況設定(通常分片速度為7000/小時);

      3.帶片/上料部分結構簡易合理;水下幾乎無運動部件,極大地減少使用過程中對設備的維護保養工作;

      4.硅片上料盒可在前道工序脫膠后直接裝入硅片,減少周轉環節,方便操作人員實現一人多機工作;

      5.異常硅片經視覺系統判斷后采用硅片分選機原理,對異常硅片識別后自動分離;

      6.為避免水路堵塞,水箱帶過濾功能,水路帶反沖功能。

      三.控制系統

      1. 采用三菱可編程控制器,功能齊全運行可靠;

      2. 運行模式和程序參數均可在觸摸屏上設定 ;

      3. 配置三菱交流伺服系統進行高精度定位;

      4. OMRON高靈敏度傳感器監控,實現設備完備的系統運行保障;

      5. 動態日志管理;

      6. 故障監控、診斷、報警及設備保養需求的自動生成。

       四.視覺系統

      1. 德國堡盟(Baumer)視覺系統對輸送過程中異常硅片進行視覺判斷?;谳喞墓ぷ髂J?,360°目標識別功能確保全面、可靠的特征檢查

      2. 硅片異常的范圍(精度)用戶可根據實際需要自行設定;

      3. 采用紅外光源,減小外部光源對檢測結果的影響;

      4. 支持IE瀏覽器遠程查看


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